TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

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TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。
產(chǎn)品描述
3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
TA4030F-01-03_TA系列半導體機器人
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 可選配免電池絕對式編碼器
- ● 可根據(jù)設備布局定制底座和伸展軸行程
- ● 末端執(zhí)?器類型:下托式
臂長
200/260/320/400mm
額定/最大負載
3kg
搬運物
≤Φ300mm晶圓

關鍵詞:
新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
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